半导体全自动多工位超声波清洗机
一、工作原理
半导体全自动多工位超声波清洗机采用高频超声空化清洗原理，结合多工位分步式工艺与全自动伺服转运系统，适配半导体行业高精密、高洁净的清洗需求。设备换能器将高频电信号转化为机械振动，在高纯清洗介质中产生大量均匀的微米级空化气泡，气泡持续生成、破裂并形成细微微射流，可精准剥离工件表面及微孔、缝隙内的微颗粒、有机残留、金属粉尘、工艺残屑等杂质。整机设置多组独立工艺工位，通过精密自动载台带动工件有序流转，全自动完成超声清洗、多级高纯漂洗、循环过滤净化、沥液控水、无尘烘干整套标准化工序。设备采用柔性超声输出模式，可调节空化冲击强度，在高效去污的同时，避免精密半导体工件产生变形、划伤、崩边等损伤。全程封闭式自动化作业，无需人工干预，杜绝二次污染，稳定适配洁净车间生产工艺要求。
二、主要技术参数
1. 超声频率：60-150kHz多频可调，可根据工件精密程度切换清洗模式，兼顾去污力与防护性；
2. 超声功率：0-2500W连续可调，整槽声场均匀度误差≤±7%，清洗无死角；
3. 工位配置：标配5-12组一体化工艺工位，涵盖清洗、多级漂洗、沥液、烘干等功能工位；
4. 过滤系统：搭载多级精密循环过滤装置，介质过滤精度可达0.05μm，持续净化清洗介质；
5. 温控参数：室温至60℃可调，智能恒温控制，控温精度±0.5℃；
6. 转运系统：伺服驱动自动载台，重复定位精度±0.08mm，运行平稳无抖动；
7. 烘干配置：无尘热风闭环烘干，恒温均匀出风，工件干燥后无水渍、无印记；
8. 控制系统：PLC智能触控操控，内置多套专属工艺配方，支持数据存储与工艺追溯；
9. 适配环境：可适配千级、万级洁净厂房，标准工作电压AC380V。
三、应用范围
该设备***应用于半导体制造、精密封装、电子元器件加工等核心领域，适配各类高精度、易损伤半导体工件的批量清洗作业。主要用于晶圆、芯片、引线框架、陶瓷基座、封装治具、精密载具、测试夹具等零部件的工序间清洗，可有效去除生产过程中产生的光刻胶残留、助焊剂残渣、金属微尘、研磨碎屑、油污杂质等污染物。设备可覆盖半导体切割、刻蚀、镀膜、固晶、键合、塑封等前后关键工序，彻底清除工件微细结构内藏匿的杂质，规避杂质导致的短路、虚焊、封装缺陷等问题，大幅提升产品良率。同时可用于半导体生产配套工装、周转器具的再生洁净处理，支持对接自动化流水线，实现连续化、标准化、无尘化清洗作业，满足半导体行业严苛的洁净生产标准。
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半导体全自动多工位超声波清洗机
产品详情
一、工作原理
半导体全自动多工位超声波清洗机采用高频超声空化清洗原理，结合多工位分步式工艺与全自动伺服转运系统，适配半导体行业高精密、高洁净的清洗需求。设备换能器将高频电信号转化为机械振动，在高纯清洗介质中产生大量均匀的微米级空化气泡，气泡持续生成、破裂并形成细微微射流，可精准剥离工件表面及微孔、缝隙内的微颗粒、有机残留、金属粉尘、工艺残屑等杂质。整机设置多组独立工艺工位，通过精密自动载台带动工件有序流转，全自动完成超声清洗、多级高纯漂洗、循环过滤净化、沥液控水、无尘烘干整套标准化工序。设备采用柔性超声输出模式，可调节空化冲击强度，在高效去污的同时，避免精密半导体工件产生变形、划伤、崩边等损伤。全程封闭式自动化作业，无需人工干预，杜绝二次污染，稳定适配洁净车间生产工艺要求。
二、主要技术参数
1. 超声频率：60-150kHz多频可调，可根据工件精密程度切换清洗模式，兼顾去污力与防护性；
2. 超声功率：0-2500W连续可调，整槽声场均匀度误差≤±7%，清洗无死角；
3. 工位配置：标配5-12组一体化工艺工位，涵盖清洗、多级漂洗、沥液、烘干等功能工位；
4. 过滤系统：搭载多级精密循环过滤装置，介质过滤精度可达0.05μm，持续净化清洗介质；
5. 温控参数：室温至60℃可调，智能恒温控制，控温精度±0.5℃；
6. 转运系统：伺服驱动自动载台，重复定位精度±0.08mm，运行平稳无抖动；
7. 烘干配置：无尘热风闭环烘干，恒温均匀出风，工件干燥后无水渍、无印记；
8. 控制系统：PLC智能触控操控，内置多套专属工艺配方，支持数据存储与工艺追溯；
9. 适配环境：可适配千级、万级洁净厂房，标准工作电压AC380V。
三、应用范围
该设备***应用于半导体制造、精密封装、电子元器件加工等核心领域，适配各类高精度、易损伤半导体工件的批量清洗作业。主要用于晶圆、芯片、引线框架、陶瓷基座、封装治具、精密载具、测试夹具等零部件的工序间清洗，可有效去除生产过程中产生的光刻胶残留、助焊剂残渣、金属微尘、研磨碎屑、油污杂质等污染物。设备可覆盖半导体切割、刻蚀、镀膜、固晶、键合、塑封等前后关键工序，彻底清除工件微细结构内藏匿的杂质，规避杂质导致的短路、虚焊、封装缺陷等问题，大幅提升产品良率。同时可用于半导体生产配套工装、周转器具的再生洁净处理，支持对接自动化流水线，实现连续化、标准化、无尘化清洗作业，满足半导体行业严苛的洁净生产标准。
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ZhangW@jjjyzn.com
江苏省苏州市张家港市杨舍镇新泾中路18号
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